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集成电路制造向几纳米节点工艺的发展，需要具有原子级保真度的刻蚀技术，原子层刻蚀（ALE）技术应运而生。《半导体干法刻蚀技术：原子层工艺》主要内容有：热刻蚀、热各向同性ALE、自由基刻蚀、定向ALE、反应离子刻蚀、离子束刻蚀等，探讨了尚未从研究转向半导体制造的新兴刻蚀技术，涵盖了定向和各向同性ALE的全新研究和进展。《半

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本书共分为七章，介绍了与米波/亚太赫兹超大规模MIIMO传输技术。第一章为绪论，介绍了米波/亚太赫兹超大规模MIMO在6G研究中的现状；第二章介绍了宽带毫米波全维MIMO系统中基于多维阵列信号处理的闭环稀疏信道估计方案；第三章介绍了毫米波全维透镜天线阵列中基于压缩感知的导频设计与信道估计方案；第四章介绍了米波大规模MI

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本书紧密结合光纤通信的发展，系统地介绍了光纤通信系统的组成与工作原理及关键技术。具体内容包括光纤传输理论及传输特性、光源和光检测器的工作原理及特性、有源和无源光器件的工作原理及应用、光纤通信系统的设计、光缆线路的施工和测试、波分复用、光纤通信网、光通信新技术以及光纤传感技术。本书内容深入浅出、概念清楚，理论结合实际，可

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