集成电路制造工艺及装备_史君，徐凯，刘立华编著_9787547877104_北京普习文化传播有限公司

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集成电路制造工艺及装备

集成电路制造工艺及装备

定　　价：69 元

作者：史君，徐凯，刘立华编著
出版时间：2026/7/1
ISBN：9787547877104
出版社：上海科学技术出版社

中图法分类：TN405
页码：300页
纸张：
版次：1
开本：26cm
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内容简介

本书共十一章，内容涵盖集成电路制造中相关工艺理论模型、参数、流程和装备，涉及集成电路制造工艺对器件及芯片性能影响的关键因素，以及集成电路工艺发展的新工艺、新技术和新动向，兼顾理论深度与实践指导性。

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