本书全面系统地阐述了半导体制造的核心工艺——光刻技术的原理、材料、设备与工艺集成。第三版在前两版基础上进行了大幅更新，新增了浸没式光刻、极紫外光刻、多重图形化、计算光刻以及纳米压印等前沿内容，反映了自21世纪以来微纳加工技术的飞速发展。全书由多位国际顶尖专家撰写，涵盖光学成像理论、光刻胶化学、掩模设计、分辨率增强技术、工艺控制及未来技术路线图，兼具理论深度与工程实践价值，是面向学术界与工业界中对先进微纳制造技术有专业需求的高层次读者群体的重要权威著作。