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集成电路与等离子体装备

集成电路与等离子体装备

定　　价：168 元

作者：
出版时间：2024/4/1
ISBN：9787030775467
出版社：科学出版社

中图法分类：TN305.7
页码：
纸张：
版次：1
开本：B5
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读者对象:集成电路专业高年级本科生、研究生,集成电路相关领域的科研人员和工程技术人员

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