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硅晶圆半导体材料技术
定 价:198 元
作者:林明献编著
出版时间:2026/6/1
ISBN:9787512452084
出 版 社:北京航空航天大学出版社
中图法分类:
TN304.1
页码:829页
纸张:
版次:1
开本:24cm
商品库位:
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内容简介
本书内容涵盖从硅材料基本特性、多晶硅制造、单晶生长、缺陷理论、晶圆加工成型、外延生长、测量技术,到硅晶圆在各种半导体器件中的应用需求等方面,并加入大量彩色图解与实务制程图示,不仅让专业内容更直观易懂,也更贴近实际制造现场的技术需求。
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