本书从介绍低能离子-固体相互作用的经典基础开始。第一部分涉及碰撞过程，固体中高能离子的能量损失和植入粒子的深度分布，从单个缺陷到完全非晶化层的损伤结构，表面和近表面区域的原子溅射。第二部分，讨论了低能离子与固体表面相互作用的各个方面以及表面拓扑的变化。介绍了离子束成形和离子束平滑技术，用于表面抛光或以预定和受控的方式纠正表面形状，以及一种基于自组织的新方法，用于在纳米尺度上制造有序的波纹和孔洞图案，并描述了离子化的原子或分子以超热能沉积形成薄膜的一些方法。