全书共分为九章，涵盖高性能超精密加工概论、超精密切削、磨削、研磨、抛光、介质光整、微纳加工、测量评价及环境控制等内容。本书特色之处在于构建了层次分明、系统完整的高性能超精密加工知识架构，既注重基础理论的深入阐释，又强调工程实践的灵活运用，呈现出从传统工艺到多场辅助、智能监控等前沿技术的完整知识框架，体现了高性能超精密加工技术发展的系统性与时代性。