本教材围绕微纳传感基础理论、核心器件制备与现代检测技术展开系统阐述，立足微纳尺度材料特性与传感机理，衔接前沿技术与工程应用。全书循序渐进地介绍了微纳传感的基本原理、关键微纳加工工艺、各类典型微纳传感器结构与工作机制，涵盖力学、电化学、光学、气敏、湿敏等多类传感类型。