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微机械谐振器串并联敏感理论
本书首先介绍了当前微机械谐振器的最新发展趋势以及经典的MEMS谐振器加工方法,进一步讨论了微机械谐振器的动力学模型;从谐振器串联的角度,阐述了多自由度耦合微机械谐振器的工作模态,分析了基于耦合谐振器模态局部化现象的新型高灵敏度检测机理,理论上证明了模态局部化传感器的灵敏度提升机制和共模抑制特性;从谐振器并联的角度,建立了不相关谐振器阵列的噪声压缩方法。同时,该著作介绍的模态局部化加速度计、电压计和虚拟陀螺等多种新型高精度传感器设计进一步阐明了该理论的应用方法与应用价值。
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