本书基于分子动力学方法研究平滑面、不同粗糙度表面和水润滑表面的多晶3C-SiC内生微裂纹的萌生和扩展演化规律，对多晶3C-SiC材料加工和材料设计具有一定的指导意义。结合经典牛顿力学、密度泛函以及弹性接触理论，构建纳米磨削多晶3C-SiC的物理模型，分析3C-SiC内部晶粒/晶界交叉作用机制和内生微裂纹萌生扩展机理；剖析不同粗糙度对纳米磨削多晶3C-SiC加工过程的影响；研究水润滑下的多晶3C-SiC纳米磨削加工状况变化。