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耐高温压电声表面波传感器关键技术研究
本书全面而深入地探讨了耐高温传感技术的各个方面,从理论基础到设计制造、测试验证,再到实际应用,进行了系统的阐述。书中详细分析了极端高温环境下传感器面临的挑战,包括耐高温材料的选取、制造工艺的改进、信号获取的困难以及力学参数的耦合关系等。同时,本书还介绍了耐高温压电材料,如硅酸镓镧等,以及其在传感器中的应用。在设计制造方面,本书讨论了多种耐高温传感器的敏感机理、数学模型及制造工艺,包括单悬臂梁式振动传感器、四端固支梁式传感器、高灵敏应变传感器等,并提出了集成温度同测多参数集成传感器的设计思想。
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