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光电子芯片
本书从光电子芯片的概述与理论基础讲起,详细介绍了光无源器件,如波分复用/解复用器、光滤波器、微机电系统光开关等,以及激光器、光放大器和光调制器,包括半导体激光器、量子限制激光器、马赫-曾德尔干涉光调制器等;深入探讨了光探测器及高速光接收机芯片,涵盖了光探测原理、多种光电探测器类型及光接收机芯片的应用。本书还对高速光纤通信系统的芯片及模块进行了详细阐述,包括数字信号处理技术芯片、光传输系统模块、硅光集成电路收发器芯片等;同时,还探讨了发光及其显示芯片,包括电致发光、光致发光LED芯片的特性与应用等。书中还涉及了光热效应、光电荷效应芯片在红外感知器、图像传感器及国防装备中的应用,以及光电子芯片新技术及其应用,如硅光技术、光电共封装技术、线性驱动可插拔光模块技术等,并展望了光电子芯片在5G/6G光传输网络、自动驾驶激光雷达测距、数据中心光互联等领域的广泛应用;最后,详细介绍了光电子芯片的制造技术与工艺,包括芯片制造工艺流程、半导体材料、光刻、蚀刻与薄膜淀积技术及设备、掺杂技术等,并探讨了先进芯片制造技术的发展趋势。
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