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简明光刻手册

简明光刻手册

定  价:98 元

  • 作者:王云翔著
  • 出版时间:2025/11/1
  • ISBN:9787566148889
  • 出 版 社:哈尔滨工程大学出版社
  • 中图法分类:TN305.7-62 
  • 页码:373页
  • 纸张:
  • 版次:1
  • 开本:26cm
  • 商品库位:
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本书内容涵盖了光刻技术的多个方面,主要包括:光刻技术概述。光刻基本工艺步骤。光刻胶:深入探讨了光刻胶的存储、成分与功能、分类与选择、参数指标以及特殊的光刻胶和光刻胶的去除方法。光刻相关工艺。
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