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简明光刻手册

简明光刻手册

定　　价：98 元

作者：王云翔著
出版时间：2025/11/1
ISBN：9787566148889
出版社：哈尔滨工程大学出版社

中图法分类：TN305.7-62
页码：373页
纸张：
版次：1
开本：26cm
商品库位：

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内容简介

本书内容涵盖了光刻技术的多个方面，主要包括：光刻技术概述。光刻基本工艺步骤。光刻胶：深入探讨了光刻胶的存储、成分与功能、分类与选择、参数指标以及特殊的光刻胶和光刻胶的去除方法。光刻相关工艺。

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