本书以作者近年来的研究成果为基础, 结合国内外研究进展, 系统地介绍超宽禁带半导体金刚石单晶材料的同质外延研究进展及发展趋势。在高质量单晶金刚石材料生长基础上, 进一步介绍金刚石场效应晶体管及在反相器和整流电路中的应用, 对于后续的相关领域的研究人员有着重要的参考价值。全书共7章, 内容包括绪论、单晶金刚石材料同质外延及加工、金刚石场效应晶体管基本原理及制备工艺、转移掺杂介质金刚石场效应晶体管、原子层沉积介质的金刚石场效应晶体管、金刚石逻辑器件和超宽禁带半导体金刚石材料与器件展望。

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