本书围绕射频电源系统的核心电控技术进行论述。第一章为电子系统和工程设计基础，内容包含等离子体与应用、射频分类与产品测试，电源系统设计；第二章为中低频段射频电源；第三章为高频段射频电源；第四章为高性能调控策略，如时域重构和空间重构的瞬态能量调控方法等；第五章为先进制造协调与产业应用。