干式真空泵是获得清洁真空环境的首选真空设备。本书针对干式真空泵设计与应用相关原理与方法进行系统介绍，并给出了干式真空泵的基本设计理论及模拟与实验验证结果，主要内容包括干式涡旋真空泵、干式螺杆真空泵、干式复合真空泵、干式多级真空泵的设计理论、技术与应用。

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1992/03-1997/09，东北大学，机械工程与自动化学院，机械设计及理论，博士 1985/09-198709，东北大学，机械工程与自动化学院，真空工程，硕士 1974/09-1977/09，东北大学，机械工程与自动化学院，真空技术及设备，本科2001/09-2002/10，美国莱斯大学，物理与航天系，访问学者 1994/06-至今，东北大学，机械工程与自动化学院，教授、博士生导师 1977/09-1994/06，东北大学，机械工程与自动化学院，助教/讲师/副教授真空技术公开发表论文300余篇，其中SCI/EI等检索100余篇；授权发明专利20项；主编学术专著3部；授权发明专利20余项；主编学术专著3部；第七届、第八届中国真空学会副理事长 国际真空联合会（IUVST）中方委员 第五届—第八届中国真空学会真空冶金专委会主任 国家真空技术装备工程实验室学术委员会副主任委员

目录
丛书序一
丛书序二
前言
第1章 绪论 1
1.1 干式真空泵的定义 1
1.2 干式真空泵的分类 1
1.3 干式真空泵抽出腐蚀颗粒物的方法 2
1.4 干式真空泵的选择与应用 3
1.5 国内干式真空泵的发展空间和面临的挑战 5
参考文献 5
第2章 干式涡旋真空泵 7
2.1 概述 7
2.1.1 干式涡旋真空泵的特点 7
2.1.2 干式涡旋真空泵的发展现状 7
2.2 干式涡旋真空泵的工作原理 10
2.2.1 单腔干式涡旋真空泵的工作原理 10
2.2.2 双腔干式涡旋真空泵的工作原理 13
2.3 干式涡旋真空泵的型线 14
2.3.1 干式涡旋真空泵的几种特殊型线 14
2.3.2 干式涡旋真空泵的典型型线 17
2.4 干式涡旋真空泵的主要结构 26
2.4.1 典型干式涡旋真空泵的基本结构 26
2.4.2 干式涡旋真空泵的密封 36
2.5 干式涡旋真空泵的应用 38
2.5.1 干式涡旋真空泵在薄膜工程中的应用 38
2.5.2 干式涡旋真空泵在医疗设备上的应用 40
2.5.3 干式涡旋真空泵在大科学工程和先进仪器上的应用 42
参考文献 46
第3章 干式螺杆真空泵 49
3.1 概述 49
3.2 干式螺杆真空泵的工作原理与特点 49
3.2.1 干式螺杆真空泵的工作原理 49
3.2.2 干式螺杆真空泵的特点 50
3.3 干式螺杆真空泵的结构设计与计算 51
3.3.1 干式螺杆真空泵的结构组成与布局 51
3.3.2 螺杆转子的支撑方式 52
3.3.3 干式螺杆真空泵的驱动方式 53
3.3.4 干式螺杆真空泵中的动密封 55
3.3.5 冷却系统与温度控制 56
3.3.6 抽速与压缩比计算 58
3.4 螺杆转子的型线设计 59
3.4.1 螺杆转子型线的三种表征 60
3.4.2 常用端面型线的基本构成 61
3.4.3 梯形齿转子端面型线概述 62
3.4.4 梯形齿转子端面型线方程 63
3.4.5 梯形齿转子端面型线的有效抽气面积 64
3.4.6 端面型线的实用化修正 65
3.5 螺杆转子的螺旋展开与动平衡 68
3.5.1 等螺距转子 68
3.5.2 一段渐变式变螺距转子 69
3.5.3 二段突变式变螺距转子 72
3.5.4 二段渐变式变螺距转子 73
3.5.5 三段式变螺距转子 74
3.5.6 变截面螺杆转子 75
3.5.7 螺杆转子的动平衡 77
3.6 干式螺杆真空泵抽气过程的热力分析 80
3.6.1 干式螺杆真空泵抽气过程的分解 80
3.6.2 干式螺杆真空泵抽气过程的热力参数 83
3.6.3 干式螺杆真空泵的性能指标 89
3.7 干式螺杆真空泵的工程应用 92
3.7.1 干式螺杆真空泵在医药化工领域的应用 92
3.7.2 干式螺杆真空泵在钢铁冶金领域的应用 93
3.7.3 干式螺杆真空泵在空间环境模拟领域的应用 94
3.7.4 干式螺杆真空泵在油气回收技术中的应用 97
3.7.5 干式螺杆真空泵在新能源领域的应用 98
参考文献 101
第4章 干式复合真空泵 102
4.1 概述 102
4.2 干式复合真空泵的工作原理 105
4.2.1 涡轮级的工作原理 105
4.2.2 牵引级的工作原理 114
4.2.3 旋涡级的工作原理 127
4.3 干式复合真空泵的基本结构 133
4.3.1 涡轮级的基本结构 133
4.3.2 牵引级的基本结构 140
4.3.3 旋涡级的基本结构 144
4.4 干式复合真空泵的应用 148
参考文献 149
第5章 干式多级真空泵 152
5.1 概述 152
5.2 干式多级真空泵的工作原理及主要参数计算 152
5.2.1 干式多级罗茨真空泵的工作原理及主要参数计算 153
5.2.2 干式多级爪型真空泵的工作原理及主要参数计算 159
5.3 常见转子型线及其方程 164
5.3.1 罗茨转子型线及其方程 164
5.3.2 爪型转子型线及其方程 174
5.4 干式多级真空泵的结构特点与应用 184
5.4.1 干式多级罗茨真空泵的结构 184
5.4.2 干式多级爪型真空泵的结构 187
5.4.3 干式多级复合型真空泵的结构 192
5.4.4 干式多级真空泵的产品与应用 194
参考文献 200