本书为高等工科院校测控技术与仪器专业“精密仪器设计”课程的教材，从精密仪器精度理论、设计原理到精密仪器光、机、电系统结构分析和设计方法做了系统的介绍。全书共分为八章，分别为精密仪器概论、精度理论、总体设计、机械系统设计、光学系统设计、伺服控制系统设计和精密仪器设计实例。本书内容侧重于光机电一体化的精密仪器的基本工作原理、主要技术、设计方法等工程基础和本专业基本理论的知识体系的形成，以及精密仪器设计和实施实验的能力训练。