本书针对机械工程专业研究生开设的微细加工技术课程的需要，系统总结了近20年来传统机械加工精密及超精密发展，在此基础上形成了较为系统和完整的微细加工技术。本书从新时期智能制造对微纳加工技术提出的新要求出发，简明扼要地介绍了微纳加工特点，进而对每种可实现微纳加工的技术的基本原理、典型加工零件和应用领域进行讲述，使研究生对微细加工领域的技术有一个宏观的认识和了解，对于丰富学生知识结构、拓展学生科研思路、解决课题中具体问题都起到了指导性作用。