本书系统讲解了可穿戴传感器基础理论、关键技术与应用实践。全书以“材料- 结构- 工艺- 应用”为主线,深入剖析可穿戴传感器的核心技术:从碳纳米材料、金属氧化物等敏感材料的设计优化,到压阻式、电容式等传感单元的结构创新,再到微纳加工、激光光刻等先进制造工艺,最终落脚于人体体征监测系统级应用设计。
本书内容新颖,涵盖行业最新研究成果与技术进展;理论实践并重,既系统阐述基础原理,又通过复合传感材料测试、微波式传感结构设计等典型案例进行实证分析;最后,本书还通过人体体征监测系统设计案例,有机整合材料、结构、工艺及测试方法,帮助读者构建系统化的技术认知。
本书适合柔性电子、智能传感等领域的研究人员以及相关企业的工程技术人员参考。
第1章 可穿戴传感器基础 001~061
1.1 可穿戴传感器基本概念与种类 002
1.1.1 可穿戴传感器概述 002
1.1.2 常见可穿戴传感器的分类 003
1.2 可穿戴传感器常见性能指标 037
1.2.1 灵敏度 037
1.2.2 测量范围与量程 038
1.2.3 响应时间 038
1.2.4 迟滞特性 039
1.2.5 分辨率与精度 039
1.2.6 长期稳定性 040
1.2.7 抗干扰能力 040
1.2.8 能耗效率 041
1.3 可穿戴传感器检测机理分析 041
1.3.1 电容式传感机理研究 041
1.3.2 压阻式传感机理研究 042
1.3.3 微波式传感机理研究 044
1.3.4 压电式传感机理研究 048
1.3.5 摩擦电式传感机理研究 051
1.4 可穿戴传感器应用场景与未来发展 052
1.4.1 民用领域可穿戴传感器应用 052
1.4.2 军事领域可穿戴传感器应用 053
1.4.3 可穿戴传感器的未来发展 054
参考文献 055
第2章 可穿戴传感器敏感材料选取与设计 062~097
2.1 碳纳米材料及其衍生复合材料 063
2.1.1 碳纳米复合多功能材料的制备方法 063
2.1.2 碳纳米复合多功能材料的性能表征 065
2.2 金属氧化物及其衍生物纳米材料 068
2.2.1 金属氧化物及其衍生物纳米材料的制备方法 069
2.2.2 金属氧化物及其衍生物纳米材料的性能表征 072
2.3 高分子聚合物纳米材料 074
2.3.1 高分子聚合物薄膜材料的制备和优化 075
2.3.2 高分子聚合物薄膜纳米材料的测试结果 078
2.4 磁性金属有机物框架纳米材料 083
2.4.1 基于金属有机框架的磁性复合材料的制备 083
2.4.2 基于金属有机框架的磁性复合材料的特性分析 085
2.5 复合传感材料案例分析与测试 089
参考文献 095
第3章 可穿戴传感器结构设计与优化 098~137
3.1 电阻式传感检测单元结构设计与分析 099
3.1.1 电阻式可穿戴传感器设计技巧和原则 099
3.1.2 压阻式压力传感器性能测试 100
3.2 电容式传感检测单元结构设计与分析 103
3.2.1 MIM 电容式传感单元结构设计 103
3.2.2 MIM 电容式传感器性能测试 104
3.3 微波谐振式传感检测单元结构设计与分析 105
3.3.1 传感检测最优敏感频点标定 106
3.3.2 单层微波检测单元设计与优化 107
3.3.3 多层射频谐振器结构设计与优化 114
3.3.4 多层微型双工结构设计与优化 118
3.3.5 平面并联叉指电容式微波结构设计与优化 121
参考文献 135
第4章 可穿戴传感单元加工工艺与技术 138~170
4.1 微纳加工技术 139
4.1.1 微纳光刻工艺 139
4.1.2 电容式传感器加工技术及工艺优化案例分析 140
4.1.3 微波式传感器加工技术及工艺优化案例分析 143
4.1.4 优化IPD 加工技术加工微波传感器案例 150
4.2 柔性电子加工技术 152
4.2.1 打印转移工艺 152
4.2.2 物理涂层工艺 158
4.2.3 激光光刻工艺 160
4.2.4 化学沉积工艺 163
4.2.5 磁控溅射工艺 165
参考文献 167
第5章 可穿戴传感器实际应用案例分析 171~232
5.1 传感测试实验分析与测试过程 172
5.1.1 射频传感检测实验仿真分析 172
5.1.2 射频传感测试平台搭建与测试流程 174
5.2 呼吸检测传感应用 180
5.2.1 电容式呼吸检测应用测试 180
5.2.2 微波式呼吸检测应用测试 183
5.3 汗液检测传感应用 185
5.3.1 电容式汗液检测应用 185
5.3.2 微波式汗液检测应用 187
5.4 坐姿检测传感应用 188
5.4.1 久坐人群的健康监测应用 188
5.4.2 智能坐垫坐姿传感阵列算法分析 190
5.4.3 人体不同位置关节实时检测 193
5.5 超疏水抗冻水下运动检测传感应用 195
5.5.1 水下可穿戴凝胶传感器制备与表征 195
5.5.2 超疏水凝胶应变传感器性能测试 208
5.6 手部动作识别传感应用 219
5.6.1 复合石墨烯应变传感器制备与表征 219
5.6.2 机器学习辅助的手部运动识别应用 220
参考文献 231