本书聚焦半导体材料和后摩尔新材料的太赫兹（THz）发射光谱技术，介绍THz发射光谱技术的原理、发展进程以及系统应用，展示 THz 发射光谱技术应用于集成电路领域的巨大价值，旨在为实现集成电路先进制程提供技术支撑和解决问题的思路。 本书主要内容包括半导体THz发射光谱起源、光学THz发射光谱物理基础、光学THz辐射实验技术、Ⅲ-Ⅴ族半导体驱动THz辐射、二维材料THz辐射、拓扑量子材料THz辐射、磁性材料THz辐射和激光THz发射显微镜。 本书主要面向物理学、化学、材料科学等领域的科研人员、研究生，以及对THz技术感兴趣的读者。