本书共分11章，分别介绍了精密刻划技术与超精密加工技术、分划的机械制作方法与设备、光学光刻技术、非光学光刻技术、刻蚀技术、微透镜及其阵列制造技术、光栅和光学码盘的制造技术、光学复制技术、分划零件的检验技术、超精密特种加工技术、超精密测试技术等内容。