本书从表面科学的基本概念入手，围绕表面科学与工程中的基本物理化学问题展开，主要叙述了固体表面特征、涂层与薄膜材料沉积制备的现代材料表面处理技术与应用，着重以与表面密切相关的等离子体、电子束、激光束、离子束、低压等离子体、辉光放电等先进科学技术为基础，结合涂层材料、薄膜材料的特点，涉及表面科学中与表面（界面）相关的基本理论，以及材料材料表面改性、先进的薄膜气相沉积技术与表面复合技术；并扼要介绍了表面测试分析研究方法等内容。