《超硬材料薄膜的制备、性能与应用》由概论、性能及其影响因素、制备技术的多样性、工程与功能应用、纳米金刚石薄膜、类金刚石涂层、金刚石薄膜的特性表征与测试技术、理论模型与机制研究、立方氮化硼薄膜和总结与展望十个部分所构成。比如：金刚石薄膜的性能有金刚石薄膜的力学性能、金刚石薄膜的电学性能、金刚石薄膜的热学性能、金刚石薄膜的光学性能，影响金刚石薄膜的因素有掺硼对金刚石薄膜的影响、沉积气压对类金刚石膜的影响、ECR等离子体刻蚀CVD对薄膜形貌的影响、氩气流量对等离子体喷射法制备的金刚石膜形核的影响等。本书力求全面、系统，是一部众多行业研究者们在研发、生产实践中所取得的丰硕理论与实际经验和智慧之大成，能反映当今科研、生产最好新水平之作。