本书对多晶硅纳米薄膜的压阻特性及其在压力传感器上的应用进行了研究。本书共分为五章，第一章主要介绍了多晶硅纳米薄膜及压力传感器的研究现状，第二章主要介绍了工艺条件对多晶硅纳米薄膜特性的影响，第三章主要介绍了多晶硅纳米薄膜的杨氏模量，第四章主要介绍了多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用，第五章主要介绍了多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析。本书可以作为高等学校微电子技术和材料科学与工程等相关专业的参考书。

陆学斌
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陆学斌，哈尔滨理工大学软件与微电子学院副教授，哈尔滨工业大学博士。2010年毕业于哈尔滨工业大学航天学院。目前主要从事半导体材料、传感器、模拟和数字集成电路等方面的相关研究。发表Ei或SCI检索论文12篇，教改论文4篇；主持黑龙江省自然科学基金面上项目1项、黑龙江省教育科学十三五规划课题1项、黑龙江省高等教育学会十三五规划课题1项；申请并获授权实用新型专利2项；出版教材4部。2016年获哈尔滨理工大学校级优秀教师，2018年获哈尔滨理工大学校级三全育人之先进个人。

第１章 绪论 第２章 工艺条件对多晶硅纳米薄膜特性的影响 第３章 多晶硅纳米薄膜的杨氏模量研究 第４章 多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用研究 第５章 多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析 参考文献