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高温SiC MEMS传感器的热电特性
定 价:88 元
作者:(澳)丁东安等著;王兴华等译
出版时间:2022/6/1
ISBN:9787030724892
出 版 社:科学出版社
中图法分类:
TN
页码:148
纸张:
版次:31
开本:B5
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读者对象
:MEMS高温传感器及SiC材料领域的高年级本科生、研究生专业课程教材或参考书目,也可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读
内容简介
目 录
本书主要介绍了碳化硅(SiC)传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分,共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性;第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiCMEMS的制造流程,总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的**进展;第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。
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ftp://124.17.26.93/curved-toc/9787030724892-curvedToc.pdf
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