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集成电路与光刻机

集成电路与光刻机

定　　价：58 元

    

  • 作者：王向朝等
  • 出版时间：2020/8/1
  • ISBN：9787030657923
  • 出 版 社：科学出版社
  • 中图法分类：TN4 
  • 页码：148
  • 纸张：
  • 版次：31
  • 开本：32
  • 商品库位：
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读者对象:本书主要为企业、高校和科研院所从事高端光刻机研发的科研人员提供参考，也可供相关研究方向的学生阅读，也适合对光刻机感兴趣的大众。

光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光刻技术；最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。

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