本书针对MEMS微电源技术发展的需求以及存在的科学与技术问题，在综合分析MEMS微型环境动能能量收集器技术的国际最新科研成果与发展趋势的基础上，重点介绍基于环境动能能量获取与转换的微能源器件与系统的机理、结构、设计理论与方法，功能薄膜的制备与三维微加工工艺的兼容制造工艺方法和性能测试方法。