本书是丛书的专业分册，介绍了国际上近年来进行的有关生物和离子敏传感器与MEMS技术的研究成果及目前在此领域的研究进展。全书论述了生物、离子敏信息及获取技术，生物与离子敏传感技术的基础，生物分子、细胞、组织、类器官传感与MEMS技术，化学无机离子、有机离子传感、重金属离子传感器和MEMS技术以及生物和离子敏传感器与MEM

本分册为丛书的专业分册，本分册重点讲述气体和湿度传感器设计制作的基本原理、方法及其应用。全书将气体和湿度传感技术分为三个方面：基础原理、器件分类以及微系统应用。本书首先阐述了气体和湿度传感器的基本概念，包括工作原理与结构、主要性能参数、机理研究方法等；结合前沿研究进展介绍了气体和湿度敏感材料的合成方法与表征技术，以及不

本分册为丛书的专业分册，本分册以传感为核心，主要讲述光电与光纤传感技术，内容包括与传感器有关的光(辐射)源、光电导器件、结型光电器件、光电发射器件、光纤。同时本书还分别介绍了各种光纤传感器，包括点式光纤传感器、光纤光栅传感器、分布式光纤传感器、表面等离激元传感器、MOEMS集成传感器。对涉及的典型应用如激光雷达，也做了

本书按照材料、基本概念、专业知识的分类。将说涉及应该简要讲解的内容共写成12章。内容包括敏感材料和与物理效应，传感器的分类、特性与建模仿真，力、扭矩与惯性传感器原理与结构设计，热工量中压力、流量、温度的测量与传感器原理与结构设计，光、辐射与图像传感器原理与结构设计，磁学传感器原理与结构设计，声学量传感器原理与结构设计，

本书结合作者的实践经验与研究成果，系统介绍了传感器与MEMS微系统的设计、加工、制造涉及的基础技术，包括硅基和非硅基材料的加工制造。具体涵盖的设计制造工艺包括：MEMS设计、光刻、介质层加工、金属层加工、干法刻蚀、湿法刻蚀、掺杂、表面处理、晶圆键合、MEMS封装、CMOS-MEMS集成、柔性传感器加工、印刷电子工艺、二

本分册介绍机械量传感器及其应用。包括传感器静态、动态性能的评估，传感器用基本弹性敏感元件的力学特性；机械量传感器用到的变电阻、变电容、变电感、压电式、谐振式等基本测量原理；力、力矩、速度、转速、角速度、加速度、振动、温度、压力以及流量传感器等；机械量传感器的典型应用实例。

教材围绕智能制造专业群建设需求，总体分为了传感技术应用篇和机器视觉应用篇两大部分，从传感器理论基础-开关量、模拟量、数字式传感器应用－传感器与PLC综合应用－机器视觉基础－视觉软硬件系统选择－视觉工具应用－典型应用的思路组织设计了教材内容，包括：项目1认识传感器技术；项目2开关量传感器应用；项目3模拟量传感器应用；项目

本书以分布式光纤传感器为主要对象，介绍了分布式光纤振动传感器的传感机理、振动信号定位及检测方法，包括基于波分复用的分布式光纤振动传感及定位原理、基于时延估计的分布式光纤振动传感及定位原理、并进行了定位试验研究；结合作者近年来相关的研究与应用实践，阐述了分布式光纤传感的振动信号处理方法、基于经验模态分解的光纤振动信号特征

本书面对工程实践中典型、实用的传感器的原理、测量电路和应用进行了介绍和分析，内容涵盖电阻式传感器、电容式传感器、电感式传感器、压电式传感器、磁电式传感器、电涡流式传感器、霍尔传感器、热电式传感器、光电式传感器、光纤传感器、化学式传感器、互感器等。

本书是在行业、企业专家和课程开发专家指导下，由校企“双元”联合编写而成的。本书在内容安排上充分考虑教学规律，突出专业特点，基于领域知识构建、能力提升和素质培养的现实需求，重点针对传感器在智慧工厂的具体应用，采用项目任务式、工作手册式、新形态、融媒体教材的编排形式，介绍了智能传感器的工程应用和使用方法。