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《太赫兹行波管高频电路及其微制造技术》主要介绍了太赫兹辐射源之一的真空电子器件行波管在太赫兹频段下，其高频互作用电路的MEMS微纳制造方法，主要频段包括0.1THz、0.22THz、0.3THz和1.03THz，根据不同频段的折叠波导制备的特点，分别介绍了超精密电火花线切割技术、LIGA技术、UV-LIGA技术和DRI

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