碳化硅压阻式高温压力传感器关键技术研究_李永伟著_9787569340266_北京普习文化传播有限公司

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碳化硅压阻式高温压力传感器关键技术研究

碳化硅压阻式高温压力传感器关键技术研究

定　　价：78 元

作者：李永伟著
出版时间：2025/8/1
ISBN：9787569340266
出版社：西安交通大学出版社

中图法分类：TP212
页码：114页
纸张：
版次：1
开本：26cm
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内容简介

本书共六章，内容包括：碳化硅压阻式高温压力传感器设计、P型4H-SiC外延层的表征及金属/碳化硅电连接稳定性研究、基于碳化硅键合的密封腔结构制备工艺研究、碳化硅基压阻式高温压力传感器样机研制及测试等。

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