本书在系统介绍半导体厂务项目工程管理的理论与实践，为集成电路生产领域的从业者、高校相关专业师生提供一套全面、实用的知识体系，并能深入理解半导体厂务项目工程管理的核心要素，掌握关键系统的设计、运行与维护技能，为半导体制造工厂的高效、稳定运行贡献力量。全书共7个单元，具体内容为半导体厂务项目工程管理概述、高低压电力系统和FMCS的设计与维护、动力系统的设计与运行维护、排气系统的设计与运行维护、洁净室系统的设计与运行维护、气化系统的设计与运行维护、纯废水系统的设计与运行维护。