本书通过分析相关文献，总结和回顾了过去五年本学科发展所取得的重要成就，特别是对本学科战略地位及其转型升级有重要意义的新观点、新理论、新方法、新成果进行了评述。在此基础上，深入分析了本学科发展难点和亟待解决的问题，并预测了本学科未来发展趋势。

中国电子学会（The Chinese Institute of Electronics，CIE） 是由电子信息领域的科技工作者、有关企事业单位和社会团体自愿结成、依法登记的全国性、学术性、非营利性社会组织。

学会成立于1962年，2016年7月学会成功获批国家级专业技术人员继续教育基地。

截至2019年1月，学会拥有个人会员10万余人，团体会员600多个，专业分会47个，专家委员会16个，工作委员会9个，编委会1个。

序

前言

综 合 报 告

高端科学仪器与集成电路先进装备

  研究现状和发展趋势

一、引言

二、本学科近年的最新研究进展

三、本学科国内外研究进展比较

四、本学科发展趋势及展望

五、布局建议

参考文献

专 题 报 告

集成电路产业链研究现状及发展趋势

先进装备与工艺发展现状和分析

核心零部件与关键材料发展现状和分析

先进封测技术设备发展现状和分析

ABSTRACTS

Comprehensive Report

Report on Advances in Scientific Instruments and Equipments for Integrated Circuits

Report on Special Topics

Report on Advances in Integrated Circuit Industry Chain

Report on Advances in Advanced Instrument and Process

Report on Advances in Core Components and Key Materials

Report on Advances in Advanced Packaging and Testing Technology Instrument

索引