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点击返回当前位置：首页 > 中图法 【TM38 微电机】 分类索引
    • 微机电系统基础
    • [美]盖德/2017-3-21/机械工业出版社 定价：¥169  ISBN：9787111557333
    • 内容简介：相对于人们对涉及的非传统物理的理解，MEMS技术发展得非常快。只有深刻掌握其基本原理，才能促进MEMS技术的提高，才有可能进行微机电系统的设计和制造，并让其在现有的和设想的各个领域广泛应用。本书是ME
    • MEMS多晶圆旋转机械——涡轮机，发电机和发动机
    • Jeffrey H.lang　著/2016-11-1/国防工业出版社 定价：¥120  ISBN：9787118105438
    • 内容简介：《MEMS多晶圆旋转机械：涡轮机、发电机和发动机》作为PowerMEMS领域的一本里程碑式的著作，是由麻省理工学院牵头、历时13年的MEMS微发动机项目研究成果的一个总结。该项目涉及了多个学科的理论与
    • MEMS多晶圆旋转机械——涡轮机，发电机和发动机
    • Jeffrey H.lang　著/2016-11-1/国防工业出版社 定价：¥120  ISBN：9787118105438
    • 内容简介：《MEMS多晶圆旋转机械：涡轮机、发电机和发动机》作为PowerMEMS领域的一本里程碑式的著作，是由麻省理工学院牵头、历时13年的MEMS微发动机项目研究成果的一个总结。该项目涉及了多个学科的理论与
    • 控制电机与特种电机（第2版）
    • 孙冠群，李璟，蔡慧 著/2016-6-1/清华大学出版社 定价：¥39  ISBN：9787302437055
    • 内容简介：本书系统论述各种控制电机与特种电机的结构原理、特性、应用等，鉴于一些电机与其控制部分的不可分割性特点，本书对部分电机的控制系统也做了详细介绍。全书共分11章，包括绪论、测速发电机、自整角机、旋转变压器
    • 微机电系统（MEMS）工艺基础与应用
    • 邱成军/2016-2-1/哈尔滨工业大学出版社 定价：¥48  ISBN：9787560351094
    • 内容简介：《微机电系统（MEMS）工艺基础与应用》着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍MEMS的概念、发展现状与趋势及力学相关知识；重点阐述MEMS实现工艺，主要有刻蚀（包括各向同性和各向异性
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